設備和材料評估平臺

研發中心致力于為國內外的半導體材料和設備廠商提供一個與生產線環境完全一致的新材料和設備演示驗證平臺，有效促進半導體制造產業鏈的整體發展。研發中心具備12英寸制程所需的設備和材料評估公共平臺，并擁有一套符合大生產要求的研發、測試和驗證服務體系，可為國內外半導體材料和設備廠商提供良好的中試環境和相關的評估驗證服務，有效推進其產品在大生產線上的工程化應用。目前已與一批國際著名設備和材料廠商以及國內設備及新材料開發單位建立了緊密的合作關系，已為多家國內設備和材料廠商提供了驗證評估服務，推進了集成電路材料設備產業的發展。